Máy đo quang học Metrios
Phạm vi đo: 95×65 mm / 23×23 mm.
Gồm 2 dòng : METRIOS, METRIOS HD.
METRIOS: Độ phân giải cao dành cho các phôi đo vừa và nhỏ.
METRIOS HD: Độ phân giải cao nhất trong phạm vi. Chụp từng chi tiết nhỏ nhất trên các phôi đo siêu nhỏ.
Máy đo quang học Metrios